在真空度控制方面，早期的控制方式是采用开环控制方式，这种控制方法存在较大的波动现象，随着分离物质的纯度需求不断提高，由于这种真空度控制方法的稳定性差，很难达到较高纯度需求，为了解决这一问题，使真空度稳定在某一预定值上，可以采用气体流量控制器进行反馈控制，通过调节进气量和出气量达到保持稳定真空度的目的。

如果真空度控制采用闭环控制，液环真空泵和旋片式真空泵只需保证真空度维持在负压的情况下，通过串联气体流量控制器，利用气体流量控制器保证整个分子蒸馏装置的真空度稳定。（见图1）

从图中可以看出，分子蒸馏装置将v10与v11之间和v19上端的真空表换成数字真空表，并将采集到数据直接传输到PLC中，通过PLC控制真空泵达到预定真空度，由于真空泵是由液环真空泵和旋片式真空泵组成，冷却水的流量的稳定性直接影响真空泵的运转，所以真空泵的稳定性较差，波动比较剧烈，特别是小型蒸馏设备，蒸发器直径较小，受真空度波动影响较大，此时当蒸发器内的真空度达到预定值范围，开启气体质量流量控制器使其不断抽气或者送气，根据预定值和真空仪实际之间的误差，通过控制误差来消除误差达到真空度稳定的目的，其系统组成图（见图2）

图1  二级分子蒸馏设备

图2  真空度控制硬件系统组成